4-трет‑бутилфенил‑1,4‑оксатиациклогексановый тионий 1‑(5,5,6,6‑тетрафторспиро[1,3‑диоксациклогептан‑2,2′‑адамантанил]) дифторсульфонатный эфир, CAS 1371590‑55‑4 (Данный вид электронных химикатов может быть изготовлен с индивидуальными показателями содержания металлических примесей в соответствии с вашими требованиями; мы принимаем заказы на изготовление по индивидуальным спецификациям.)

1. Ключевое применение: специализированные фотоинициаторы кислоты (PAG) для 193‑нм ArF‑линия сухой и иммерсионной литографии, а также для EUV‑литографии; относятся к катионным PAG на основе сульфониевых солей. Липоциклическая фторсодержащая длинноцепочечная структура молекулы обеспечивает низкую диффузию кислоты, высокую чувствительность к облучению и низкую летучесть, одновременно обладая превосходными свойствами стойкости к сухому травлению; является основным светочувствительным компонентом высококлассных химически усиленных фотополимерных резистов.

2. Применяется в технологических процессах ArF‑иммерсионной литографии для узлов 14 нм и более узких, а также в EUV‑литографии для узлов 7 нм и менее; позволяет существенно снизить шероховатость линий (LWR), повысить разрешение рисунка и расширить технологическое окно, что делает его подходящим для высокопроизводительных полупроводниковых технологий — таких как логические микросхемы, DRAM и NAND‑флеш‑память.

3. В качестве PAG‑компонента для верхнего водостойкого покрытия (топкоата) в 193‑нм иммерсионной литографии обеспечивается синхронное экспонирование и проявка покрытия и фоторезиста, отсутствие остаточных дефектов и повышение выхода годных пластин.

4. Фотоинициатор для специальной катионной фотополимеризационной системы, применяемый в реакциях фотополимеризации при создании прецизионных оптических микро‑ и наноструктур, а также в наноимпринтной литографии с использованием фоторезистов.

Показатели: чистота фторидного спектра — не менее 99%, содержание отдельных металлических ионов — менее 50 ppb, кислотное число — 0.

Хранить в защищённом от света, прохладном месте в герметичной таре.

Компания «Цзянсу Цзюймин Химическая Технология» была основана в ноябре 2017 года и уже много лет успешно работает в химической отрасли. Штаб‑квартира компании расположена в городе Цзянин провинции Цзянсу. Производственные площадки находятся в китайских провинциях Шаньдун, Хэбэй, Хэнань и Хубэй. Лаборатория оснащена высокоточным оборудованием: четыре газовых хроматографа и восемь жидкостных хроматографов. Основная деятельность — производство и реализация высококачественных химических продуктов для электронной промышленности, средств водоочистки, ультрафиолетовых поглотителей, а также промежуточных соединений для сельского хозяйства и фармацевтики; продукция широко востребована на рынках Европы, США, Японии, Кореи и других стран и регионов. В числе ключевых продуктов — 5‑метилбензотриазол (годовой объём производства 2 000 тонн), 1,2,3‑бензотриазол (BTA) — 3 000 тонн в год, натриевая соль бензотриазола (BTA‑Na) — 2 000 тонн в год, метилбензотриазол (TTA) — 3 000 тонн в год, натриевая соль метилбензотриазола (TTA‑Na) — 2 000 тонн в год, карбазид (карбамид) — 2 000 тонн в год, бензофенон (BP) — 2 000 тонн в год; эти продукты широко применяются в сфере водоочистки, в качестве химических промежуточных соединений, в сельском хозяйстве, фармацевтике, в качестве ультрафиолетовых поглотителей, в производстве удобрений, при печати и окрашивании, а также в качестве огнезащитных добавок и при изготовлении магниевых солей. Компания обладает сертификатами ISO 9001, SGS и аккредитацией CMA.
С момента своего основания компания завоевала признание многочисленных клиентов и пользуется безупречной репутацией, передающейся из уст в уста. Команда «Цзюймин» готова к тесному сотрудничеству с широким кругом партнёров и вместе добиваться выдающихся успехов!